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O设计的绝缘体上多晶硅压力传感器与恶劣环境下的原始多晶硅布局
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a[2]Z. Libo, Z. Yulong, J. Zhuangde.Design and fabrication of a high temperature pressure sensor.Proceeding of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystem, Sanya, China, January 10–13 (2007), pp. 557–561 [translate] 
ao International Journal of Materials and Product Technology, 31 (2008), pp. 375–385 [translate] 
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