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aautomatic .circalar connectors 正在翻译，请等待... [translate]
aPear logs will now 梨日志现在将 [translate]
aSpess Spess [translate]
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aUS cents 美国分 [translate]
achief physician of clinical psychology 临床心理学的首要医师 [translate]
aonline debugging and downloading were available 网上调试和下载是可利用的 [translate]
aCould not process your request. Please check the email address or the reCaptcha response you have entered. 不能处理您的请求。 请检查电子邮件或您输入的reCaptcha反应。 [translate]
ato directly contact the most dynamic sectors of the economy institution, or control the society 直接地与经济机关的最动态的区段联系或者控制社会 [translate]
akiss Kitty 亲吻全部赌注 [translate]
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aThis work presents a model and measured data for the sensitivity and LOD of a MEMS resonant cantilever chemical sensor. The microcantilever is fabricated in a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) MEMS last process. The post-CMOS MEMS fabrication process capitalizes on the ease of integration between micromech 这工作提出一模型和被测量的数据为MEMS共振悬臂式化工传感器的敏感性和LOD。 microcantilever在一个补全金属氧化物半导体CMOS (MEMS) 被制造最后处理。 岗位CMOS MEMS制造过程通过制造感觉电子和打基础利用综合化舒适在micromechanical结构和CMOS电路之间为MEMS结构在同样过程步期间。 这个过程消灭对岗位CMOS对准线或综合化步的需要。 总值MEMS结构是小和当地集成以感觉电子。 [translate]
这项工作提出了一种模型和测量的数据的敏感性和 LOD 的 MEMS 谐振悬臂化学传感器。微悬臂梁被捏造的互补金属氧化物半导体 (CMOS) MEMS 最后进程中。开机自检-CMOS MEMS 制造工艺利用简易的微机械结构和 CMOS 电路之间的整合由捏造感电子和在相同的进程步骤期间奠定 MEMS 结构的基础。此过程消除了需要开机自检-CMOS 对齐方式或集成的步骤。由此产生的 MEMS 结构是小并感电子与本机集成。
这工作提出模型和被测量的数据为MEMS共振悬臂式化工传感器的敏感性和LOD。microcantilever在一个互补金属氧化物半导体(CMOS) MEMS被制造最后处理。之后CMOS MEMS制造过程通过制造感觉电子和打MEMS结构的基础利用综合化舒适在式微机械结构和CMOS电路之间的在同样过程步期间。
这工作提出一模型和被测量的数据为MEMS共振悬臂式化工传感器的敏感性和LOD。 microcantilever在一个补全金属氧化物半导体CMOS (MEMS) 被制造最后处理。 岗位CMOS MEMS制造过程通过制造感觉电子和打基础利用综合化舒适在micromechanical结构和CMOS电路之间为MEMS结构在同样过程步期间。 这个过程消灭对岗位CMOS对准线或综合化步的需要。 总值MEMS结构是小和当地集成以感觉电子。
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