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典型的反应堆设计。

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典型反应体设计。表 5.1 列出包括在低或者大气压力运行的冷墙和热墙的反应体的典型 CVD 生产反应体。使用一个特定系统的决定将应付的报酬给费用的所有因素,效率后应该被做出,生产比率,操作, quality.A 的容易 SiO2 和 boro-phospho-silicate 的玻璃的大气沉积物的典型生产反应体在无花果被显示。5.11.

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典型的反应堆设计。表 5.1 列出了典型的 CVD 生产反应堆,包括冷墙和热墙反应器在低或大气压力下运作。使用给定的系统的决定应给予后适当考虑成本、 效率、 产率、 易于操作和质量的所有因素。一个典型的生产反应堆为 SiO2 和人权法 》 磷硅酸盐玻璃的大气沉积如图 5.11 所示。

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典型的反应器设计。包括经营以低或大气压的冷墙壁和热墙壁反应器的表5.1名单典型的CVD生产反应堆。应该在给予交付考虑以后做出使用一个特定系统的决定费用、效率、生产率、操作方便和质量所有因素。SiO2和博罗phospho硅酸盐玻璃的大气证言的一个典型的生产反应堆在图5.11显示。

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典型的反应器设计。 包括经营以低或大气压的冷墙壁和热墙壁反应器的表5.1名单典型的CVD生产反应堆。 应该在给予交付考虑以后做出使用一个特定系统的决定费用、效率、生产率、操作方便和质量所有因素。一个典型的生产反应堆为SiO2和boro phospho硅酸盐玻璃的大气证言显示在。 5.11.
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