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模块化的化学气相沉积反应器子系统包括模块化反应器的外壳,由外壳支撑的反应器室中,并通过相邻的腔室的外壁反应器壳体支承独立的功能模块

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模块化化学蒸汽沉积反应堆子系统包括机壳模块化反应堆,反应堆分庭支持,盘柜和独立功能模块的支持,反应堆围墙相邻外墙的分庭

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模块化化学气相沉积反应器子系统包括模块化反应器盘柜、 电抗器分庭支持的存储模块和独立的功能模块支持的反应堆外壳毗邻外墙的分庭

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模件化学气相沉积反应器子系统包括模件反应器封入物、封入物支持的反应器房间和反应器封入物支持的独立作用模块在房间附近外墙

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模件化学气相沉积反应器子系统包括模件反应器封入物、封入物支持的反应器房间和反应器封入物支持的独立作用模块在房间附近外墙
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