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方法,用于通过使用智能切割(RTM:基板的制造工艺)制造的衬底的薄铁电体层,制造的组件。用途包括但不限于高介电常数的电容器,压电式传感器,超声波发生器,放大器,调制器的电介质,热 - 电能量转换器,动态RAM或非易失性铁电RAM。

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通过使用智能切制造一层薄薄的铁衬底方法 (RTM: 基板制造过程),制造一个组件。用途包括但不是限于高介电常数电容器、 压电传感器、 超声波发生器、 放大器、 电介质调制器、 热电能源转换器,动态 RAM 或非易失性铁电随机存储器。

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制造的一个基体的稀薄的铁电的层数方法通过使用聪明的裁减(RTM :基体制造过程),制造的组分。用途包括,但是没有被限制到高介电常数电容器、压电传感器、超音波发电器、放大器、电介质调制器、热电能量交换器、动态RAM或者无挥发性的铁电的RAM。

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方法为制造一个基体的稀薄的ferroelectric层数通过使用 聪明的裁减 (RTM : 基体制造过程),为制造组分。 用途包括,但没有被限制到高介电常数电容器、压电传感器、超音波发电器、放大器、电介质调制器、热电能量交换器、动态RAM或者无挥发性的ferroelectric RAM。
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