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的基板1的周边部变薄,用于允许标记是可见的,从而有利于检测的全部或掩埋的对准标记,该多层结构的制造过程中的一部分。

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外围设备的一部分的一个承印物的排出是允许在标记是可见的,从而有助于检测的全部或部分的埋地对齐标记,在制造的多层结构。

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外围部分的基体的一个薄允许标记是可见的从而促进整个或部分的埋地对齐方式检测标记,期间制作的多层结构。

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周边部分的其中一个基体为允许标记是变薄可看见的,因而促进侦查整个或一部分的被埋没的定位记号,在生产多层结构时。

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周边部分的其中一个基体为允许标记是变薄可看见的,因而促进侦查整个或一部分的被埋没的定位记号,在生产多层结构期间。
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