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在衬底中的半导体器件的制造半导体材料沉积系统中,具有与具有蛇形截面配置,可提供前体气体的层流的前体气体流路

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淀积系统在半导体材料的基材在半导体设备制造、有前体气体流道,带有部分都有蛇形线配置,提供了形成层流的前体气体

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半导体材料在半导体设备制造,衬底上沉积系统有前体气体流动路径以有提供前体气体层流的蛇纹石配置一节

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半导体材料的证言系统在半导体装置制造的基体,有前体气体有有的部分的流程道路提供前体气体层流的蜒蜒配置

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证言系统为半导体材料在基体在半导体装置制造,有前体气体流程道路与部分有提供前体气体层流的蜒蜒配置
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