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减少半导体晶片的自由表面粗糙度(自称)应用于光电子微电子。

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为减少自由表面的粗糙度的半导体晶片[说]用于微电子的光电产品。

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对减少用于光电子学微电子学(被要求)的半导体片自由表面的坎坷。

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为减少半导体片自由表面的坎坷 (在) 光电子学微电子学要求使用。
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