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该方法使得能够利用由低压化学汽相淀积形成的氧化物层和具有厚度大于或等于所述薄膜的厚度,从而防止塑性变形的结合层内,从而防止微腔中的接合形成从使薄膜的剥离,甚至在以比所述层的沉积温度高的温度下的热处理变形的薄膜的表面层。

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该方法使利用氧化层形成低压化学气相沉积和有厚度大于或等于的薄膜,从而防止塑性变形的粘接层内和从而防止形成的腔中从导致薄膜的分层或甚至在热处理温度比图层的沉积温度高翘的薄膜表面的粘接层厚度。

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方法使能运用低压化学气相沉积形成的氧化物层数和有厚度大于或均等对薄膜的厚度,因而防止在结合的层数内的塑料变形,并且防止空洞的形成在结合的层数导致薄膜的分层法或翘曲薄膜的表面即使在热治疗期间在温度高于层数的证言温度。

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方法在接合层数之内层数的证言温度使能运用低压化学气相沉积形成的氧化物层数和有厚度大于或均等到厚度薄膜,因而防止塑料变形,并且防止microcavities的形成在接合层数导致分层法薄膜或翘曲表面薄膜即使在热治疗期间在温度高于。
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