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该方法减少了macrorugosity水平的异质外延层中可靠的方式的表面上。该方法完全消除了交叉影线。

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这种方法减少了一级macrorugosity的表面的heteroepitaxial层的可靠方式。 这种方法完全消除了交叉阴影线。

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该方法的水平降低的异质层表面上 macrorugosity 以可靠的方式。该方法完全消除了剖面线。

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方法减少macrorugosity的水平在heteroepitaxial层数的表面以可靠的方式。方法完全地消灭交叉阴影线。

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方法减少macrorugosity的水平在heteroepitaxial层数的表面以可靠的方式。 方法完全地消灭交叉阴影线。
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