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化学腐蚀剂为GE的蚀刻或一个富锗的Si-Ge合金(权利)有用,并且可以被集成到任何现有的半导体处理流程包括任何传统的互补金属氧化物半导体工艺流。

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化学腐蚀剂可用于蚀刻的GE或ge丰富si-ge合金[说],可以集成到任何现有半导体处理流程包括任何传统互补金属氧化物半导体流程。

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化学蚀刻液是有用的 Ge 或 Ge 丰富硅锗合金 (索赔) 刻蚀,可以集成到任何现有的半导体加工包括任何常规的互补金属氧化物半导体过程流的流量。

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化工etchant为铭刻是有用的Ge或Ge富有的Si Ge合金(被要求)并且可以是联合入所有现有的半导体流程包括任何常规互补金属氧化物半导体流程。

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化工etchant为Ge蚀刻或被要求的Ge富有的SiGe合金是 (有用的) 并且可以是联合入所有现有的半导体流程包括任何常规补全金属氧化物半导体流程。
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