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用于沉积半导体材料的沉积系统,包括:基本封闭的反应室具有顶壁,底壁和侧壁,基座和气体输入系统,具有前体气体炉和前体气体流路

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沉积系统存放的半导体材料,包括大幅封闭反应分庭的顶壁、底部墙和侧墙上,susceptor和气体输入系统,具有先导燃气炉和前体气体流动路径

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沉积系统存放的半导体材料,包括极大地封闭的反应室有顶层墙,底部墙和侧墙,有前体燃气炉和前体气体流动路径的热感和气体输入的系统

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放置的半导体材料的证言系统,包括极大地有附上的反应的房间有顶面墙壁,底盘和侧面墙、susceptor和气体的输入系统前体煤气炉和前体气体流程道路

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证言系统为放置的半导体材料,包括极大地附上的反应房间有顶面墙壁,底盘和侧面墙、susceptor和气体输入系统有前体煤气炉和前体气体流程道路
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