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该方法提供了III族氮化物层与一般的增强的均匀性和减少的缺陷密度,特别是,改进的基于III族氮化物层的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)。

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第三提供的方法的氮化物层,增强统一性和减少缺陷密度一般,特别是改进了对垂直腔表面发射激光器[VCSELs]基于III-氮化硅层。

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该方法提供了三氮化层与增强统一性和减少在缺陷密度一般和特别是,改进的垂直腔表面发射激光器 (垂直腔面发射激光器) 基于三氮化层。

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方法一般来说提供III氮化物层数以改进的均一和减少的瑕疵密度,并且,特别是,根据III氮化物层数(VCSELs)的改善的垂直的洞表面散发的激光。

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方法一般来说提供III氮化物层数以改进的均一和减少的瑕疵密度,并且,特别是,改善的垂直的洞表面散发的lasers (根据) III氮化物层数的VCSELs。
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