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在三维(3D)集成微电子元件的成形接合半导体结构(权利)的方法。

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质役的产生方法半导体结构[要求]三维[3D]集成的微电子组件。

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形成的方法保税半导体结构 (索赔) 三维 (3D) 集成的微电子组件中。

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形成保税的半导体结构方法(被要求)在微电子学组分的三维(3D)综合化。

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形成在微电子学组分的三维3D (综合化) 要求的保税的 (半导体) 结构方法。
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