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方法通过注入原子形成在半导体衬底中的空腔

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方法用于形成模腔在半导体基体原子通过植入

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用于通过植入原子形成腔中半导体基板的方法

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形成的洞方法在一个半导体基体通过种入原子

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方法为在一个半导体基体形成洞通过种入原子
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