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用于微电子,光电子和光学应用(权利),特别是用于绝缘体上硅(SOI)衬底的半导体衬底的制造。

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制作一个半导体基板的微型电子、光学电子和光盘应用程序[要求],特别是芯片的绝缘[SOI]承印物。

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半导体基板的微型电子、 光电和光学的应用程序 (索赔),特别是对绝缘子硅 (SOI) 衬底的制备。

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对生产微电子学,光电子和光学申请的一个半导体基体(被要求),特别是对绝缘体上硅薄膜(SOI)基体。

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为生产一个半导体基体为为硅要求的,特别是微电子学 (,)光电子和光学应用在绝缘体 (SOI) 基体。
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