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为晶片,例如在绝缘体上(SSOI)晶片与硅 - 锗(SiGe)层,利用单晶片型加工设备的应变硅的湿法化学蚀刻。

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湿化学蚀刻的晶片,这种芯片的绝缘紧张[ssoi]晶片与硅锗(SiGe)层,使用单晶片类型处理设备。

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为湿式化学蚀刻的晶圆片如劳损硅硅锗 (SiGe) 层,使用的单晶片类型加工设备绝缘子 (sSOI) 晶片上。

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对薄酥饼湿化工蚀刻例如与硅锗(西赫)层数的紧张的绝缘体上硅薄膜(sSOI)薄酥饼,使用唯一薄酥饼类型处理设备。

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为薄酥饼湿化工蚀刻例如被劳损的硅在绝缘体 (sSOI) 薄酥饼以硅锗 (SiGe) 层数,使用唯一薄酥饼类型处理设备。
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