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过程,用于调整应变在表面上或由半导体材料制成的基片内

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为调整过程的应力消除在地面上或在一个基板的一个半导体材料

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调整应变表面或内部半导体材料作衬底的过程

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调整的张力过程表面或里面上基体被做半导体材料

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过程为在表面或里面调整张力基体被做半导体材料
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