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形成氮化铟镓,包括造成的氮前体的分压比对III族前体,分解III族前体的一部分和外延生长铟镓氮化物在衬底

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形成铟砷化镓氮化物,包括导致比例的部分压力氮气的前体,第三组前体都腐烂了,部分第三组的前体物,越来越多对铟砷化镓氮化物基材

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形成氮化铟镓、 包括造成比例的氮前体进行分组 III 前体、 分解部分的组三、 前体和外延日益铟氮化镓衬底偏压

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形成铟镓氮化物,包括导致编组III前体,分解小组III前体的部分和外延地生长铟在基体的氮气前体分压比率镓氮化物

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形成铟镓氮化物,包括导致对小组III前体,分解小组III前体的部分和外延地生长铟镓氮化物在基体的氮气前体分压比率
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