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以下生长超过初始III族氮化物材料层III族氮化物材料层包括外延横向过度生长的无定形复合材料的局部区域​​在初始层,用以下的半导体层

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以下第三组越来越多的氮化硅材料层在第一组三的氮化物异质材料层涉及横向overgrowing本地化地区复杂的非晶材料在初始层,以下半导体层

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初始组 III-氮化物材料层日益以下组 III-氮化物材料层涉及在初始层,与以下半导体层非晶态复杂材料的外延侧向 overgrowing 局部的地区

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在最初的小组III氮化物物质层数的增长的跟随的小组III氮化物物质层数介入外延地侧向地长满无定形的复杂材料的地方化的地区在最初的层数,与以下半导体层数

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增长的跟随的小组III氮化物物质层数最初小组III氮化物物质层数介入外延地侧向地overgrowing无定形的复杂材料的地方化的地区在最初的层数,以以下半导体层数
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