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该方法是一种用于制造半导体结构,包括III族氮化物半导体的结构(权利)是有用的。

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方法可用于制作半导体结构包括三-氮化物半导体结构 (索赔)。

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方法为制造半导体结构是有用的包括III氮化物半导体结构(被要求)。

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方法为制造半导体结构是有用的包括III氮化物被要求的半导体 (结构)。
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