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沉积系统中,用于形成半导体材料如发光二极管,包括:歧管包括被配置成引导至少一个气体基本上对齐气体的列,以及一个装配于基片的相对运动,以在歧管

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沉积系统,应用于窗体半导体材料,如指示灯,包括组成极大地对齐的气列将配置为直接的至少一个气体和程序集的移动一个基体与歧管歧管

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即证言系统,用于形成LEDs的半导体材料,包括一根多头管包括极大地被排列的气体专栏的配置指挥至少一气体和移动的基体一个汇编相对多头管

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证言系统,用于形成半导体材料为即。 LEDs,包括一根多头管包括极大地被排列的气体专栏的配置指挥至少一气体和一个汇编为移动基体相对多头管
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