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制造多晶硅的设备和方法被公开,其能够缩短通过利用激光束通过硅烷气体的热解多晶硅晶粒上沉积所需的用于制造多晶硅的一个时间周期,并且能够制造铸锭的直接沉积多晶硅晶粒和熔化多​​晶硅晶粒,而无需使用额外的晶种,其特征在于,该装置包括一个反应室;用于供给硅烷气体在反应室中的气体供给装置;激光照射器用于通过硅烷气体的热分解,通过照射激光束产生的多晶硅晶粒从气体供给装置供给的硅烷气体;和多晶硅晶粒接收机,用于接收和存储所述多晶硅晶粒。

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仪器和制造多晶硅的方法被披露,这是能够缩短制造多晶硅沉积多晶硅谷物通过热解的硅烷气体通过使用激光束所需的时间段内的是能够由直接沉积多晶硅谷物和熔炼多晶硅谷物而无需使用额外的水晶种子,其中组成反应室 ; 的器具制造硅锭气体供应商提供一种硅烷气体反应分庭 ;用于生成多晶硅谷物热解的硅烷气体通过照射到硅烷气体的气体供应商 ; 从提供的激光束激光照射器和多晶硅晶粒接收器为接收和存储的多晶硅颗粒。

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制造polysilicon用具和方法被透露,是能缩短为制造业polysilicon需要的时期通过放置polysilicon五谷通过硅酮气体加热分解通过使用激光,并且是能制造锭通过直接放置polysilicon五谷和熔化polysilicon五谷,无需使用另外的种晶,包括反应房间的用具; 气体供应商为提供硅酮气体给反应房间; 一台laser辐照器为引起polysilicon五谷通过硅酮气体的加热分解通过照耀激光对从气体供应商提供的硅酮气体; 并且polysilicon五谷接收器为接受和存放polysilicon五谷。
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aAn apparatus and method of manufacturing polysilicon is disclosed, which is capable of shortening a time period required for manufacturing polysilicon by depositing polysilicon grains through a pyrolysis of silane gas by using laser beam, and is capable of manufacturing an ingot by directly depositing polysilicon grain 制造polysilicon用具和方法被透露,是能缩短为制造业polysilicon需要的时期通过放置polysilicon五谷通过硅酮气体加热分解通过使用激光,并且是能制造锭通过直接放置polysilicon五谷和熔化polysilicon五谷,无需使用另外的种晶,包括反应房间的用具; 气体供应商为提供硅酮气体给反应房间; 一台laser辐照器为引起polysilicon五谷通过硅酮气体的加热分解通过照耀激光对从气体供应商提供的硅酮气体; 并且polysilicon五谷接收器为接受和存放polysilicon五谷。 [translate]